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100V~1200V 碳化硅外延

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      依据制程能力，可生产：


    ✔  外延掺杂剂：N型和P型；

    ✔  外延片尺寸：4 inch 、6 inch；

    ✔  外 延 膜 厚：0.5~50um；

    ✔  外 延 浓 度：1E14-1E19/cm3



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